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DAGE XM8000 晶圓 X 射線計(jì)量平臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào):DAGE XM8000
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價(jià)格:
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最后更新:2024-09-26
關(guān) 注 度:3454
生產(chǎn)企業(yè):銳峰先科技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹DAGE XM8000 晶圓 X 射線計(jì)量平臺(tái)

可快速、自動(dòng)對(duì) TSV、MEMS 和晶圓凸塊進(jìn)行 X 射線測量,以查明氣泡空洞情況、填充度、覆蓋程度和其他臨界尺寸。

測量無形尺寸

這一新平臺(tái)采用先進(jìn)的 Nordson DAGE 現(xiàn)有 X 射線系統(tǒng)功能,可以提供自動(dòng)化的高吞吐量 X 射線計(jì)量和針對(duì)光隱藏和可見特征(包括 TSV、2.5D 和 3D IC 封裝、MEMS 和晶圓凸塊)的缺陷復(fù)檢系統(tǒng)。

XM8000 可以對(duì)空穴和填充度、覆蓋程度以及臨界尺寸等進(jìn)行非破壞性的線上晶圓測量。 通過此方法可將 XM8000 用作集成電路制造和封裝的組成部分或用作質(zhì)量控制和產(chǎn)品驗(yàn)收的一部分。

優(yōu)點(diǎn)

高吞吐量 X 射線計(jì)量和對(duì)以下光隱藏和可見特征進(jìn)行缺陷復(fù)檢:

 TSV

 2.5D & 3D IC 封裝

 MEMS

 晶圓凸塊

非破壞性線上測量空穴和填充度、覆蓋程度、臨界尺寸等


X 射線技術(shù)

Nordson DAGE XM8000 X 射線計(jì)量平臺(tái)可對(duì)不超過 300 毫米晶圓上的金屬特征進(jìn)行快速、全自動(dòng)、非破壞性測量。 

XM8000 采用先進(jìn)的 Nordson DAGE 現(xiàn)有 X 射線系統(tǒng)功能(如無燈絲、密封傳送型 X 射線管),并且實(shí)現(xiàn)了良好的檢測、自動(dòng)化和吞吐量。 這使得 XM8000 可用作集成電路制造和封裝的組成部分或用作質(zhì)量控制和產(chǎn)品驗(yàn)收的一部分。

XM8000 X 射線平臺(tái)可快速測量無形尺寸,從而使您再無隱憂。
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