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　　 橢圓偏振法簡(jiǎn)稱橢偏法，是一種先進(jìn)的測(cè)量薄膜納米級(jí)厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數(shù)學(xué)處理的困難，直到本世紀(jì)40年代計(jì)算機(jī)出現(xiàn)以后才發(fā)展起來(lái)。橢偏法的測(cè)量經(jīng)過(guò)幾十年來(lái)的不斷改進(jìn)，已從手動(dòng)進(jìn)入到全自動(dòng)、變?nèi)肷浣恰⒆儾ㄩL(zhǎng)和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，極大地促進(jìn)了納米技術(shù)的發(fā)展。橢偏法的測(cè)量精度很高（比一般的干涉法高一至二個(gè)數(shù)量級(jí)），測(cè)量靈敏度也很高（可探測(cè)生長(zhǎng)中的薄膜小于0.1nm的厚度變化）。利用橢偏法可以測(cè)量薄膜的厚度和折射率，也可以測(cè)定材料的吸收系數(shù)或金屬的復(fù)折射率等光學(xué)參數(shù)。因此，橢偏法在半導(dǎo)體材料、光學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

 

　　系統(tǒng)連接結(jié)構(gòu)示意圖

 

 

 

1.主機(jī)接口  2.電腦接口  3.電源插座  4.保險(xiǎn)絲  5.編碼器  6.光電接收器  7.檢偏器   8.樣品平臺(tái)   9.電機(jī)  10.1/4λ波片   11.BNC接口  12.起偏器  13.激光器  14.電腦主機(jī)